Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

Є. Л. Жавжаров
«Модифікація тонких металевих плівок Ag, Cu, Ni під дією атомарного водню »
0553–0566 (2010)

PACS numbers: 68.35.Np, 68.37.Hk, 68.55.-a, 68.60.Bs, 73.30.+y, 73.61.At, 81.15.-z

Исследовано воздействие атомарного водорода на параметры тон-ких металлических пленок Ag, Cu, Ni (15–200 нм), нанесенных термическим испарением на диэлектрик. Обработка проводилась при температуре 300–310 К, давлении ??20 Па и концентрации ато-марного водорода 1017–1019 м?3. Выявлены и исследованы кинетика изменения морфологии поверхности, работы выхода и электропро-водимости тонких металлических пленок. Предложен физический механизм, объясняющий результаты исследования. Выявлены фак-торы, влияющие на характер и кинетику изменения электрофизи-ческих параметров тонких пленок.