Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

R. I. BIGUN, Z. V. STASYUK, A. V. BORODCHUK, and Ya. A. PASTYRSKY
«Impact of Sb and Ge Surfactant Underlayers on Cu and Au Films Structure »
0529–0533 (2009)

PACS numbers: 61.46.Bc, 68.55.A-, 68.55.J-, 81.10.Jt, 81.15.Ef, 81.15.Np

Установлены пределы влияния сурфактантных подслоев сурьмы и германия различных толщин на структуру тонких пленок металлов в широком диапазоне толщин. Показано, что сурфактантные подслои, предварительно нанесенные на диэлектрическую подложку, уменьшают средние линейные размеры кристаллитов в осажденных пленках меди и золота. Обнаружена возможность управляемого роста и изготовления тонких пленок металлов с предварительно заданными свойствами.