Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

О. И. Барчук, К. С. Биленко, А. А. Голобородько, В. Н. Курашов, Е. А. Оберемок, С. Н. Савенков
«Влияние структуры поликремниевых пленок на оптические характеристики отраженного света »
0421–0431 (2009)

PACS numbers: 07.60.Hv, 42.25.Gy, 68.35.bg, 68.55.J-, 68.65.Ac, 78.67.Pt, 81.70.Fy

Рассмотрены оптические характеристики сложных многослойных систем на основе кремния. Исследовано влияние структуры поликристаллических пленок с наноразмерными особенностями на характер угловых зависимостей коэффициентов отражения Rp и Rs. Показано, что для интерпретации полученных экспериментальных результатов во многих случаях можно использовать модель многократного рассеяния для слоистых структур. При расчетах необходимо учитывать поглощение в таких средах и усреднение по апертуре фотодетектора. Компьютерное моделирование показало, что наличие на подложке слоя окисла существенно меняет характер зависимостей для коэффициентов отражения. Наличие дополнительных экстремумов в вышеуказанных зависимостях связано с существованием интерферирующих волн, отраженных от границ с различными показателями преломления для системы воздух–поликристаллическая пленка–окисел–подложка.