Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

Н. И. Ходаковский, С. Ю. Ларкин, Г. Г. Галстян*
«Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии »
535–542 (2011)

PACS numbers: 07.79.-v, 68.37.-d, 81.16.Rf, 81.16.Ta, 85.35.-p

Probe methods for nanoelectronic devices design and their di-agnostics using electrostatic force microscopy are studied. The ways of increasing of information capability of measure-ments of the charge and potentials distributions in the pro-cess of formation of nanostructure elements are analysed.