Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

V. Ye. Panarin, M. Ye. Svavil’nyi
«Carbon Nanostructures Synthesized by Means of Modernized ‘Bulat’-Type Installation for Ion-Plasma Deposition»
0679–0688 (2019)

PACS numbers: 61.46.Np, 61.48.De, 81.07.De, 81.07.Gf, 81.15.Gh, 81.16.Be, 85.35.Kt

Разработан метод синтеза углеродных наноструктур (углеродные нанотрубки (УНТ), аморфный графен) на ионно-плазменных установках типа «Булат» с дуговым распылением катода на металлических подложках из титана и железа. Для предотвращения химического взаимодействия металлических подложек с плёнками металла-катализатора при высоких температурах разработан способ создания диффузионного барьера из нитридов или гидридов в одной технологической операции. При создании композиционного покрытия на титановых сплавах и железе, упрочнённого УНТ, решена проблема предотвращения взаимодействия между ними и карбидообразующим металлом-матрицей путём напыления защитного покрытия из меди. Сплошное медное покрытие на УНТ, каталитических центрах и металлической подложке с большой площадью поверхности представляет собой перспективную структуру для решения проблемы соответствия габаритов миниатюрных электронных устройств и радиаторов их охлаждения. Получено покрытие из наночастиц аморфного углерода на кремниевых и металлических подложках, что представляет перспективную основу для разработки прямых преобразователей солнечной энергии в электрическую.

Keywords: carbon-nanostructures synthesis method, metal substrates, nanosize radiators, autoelectron emission