Выпуски

 / 

2015

 / 

том 13 / 

выпуск 1

 



Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

О. К. Порада
«Вплив умов осадження і відпалу на нанотвердість аморфних Si–C–N-плівок»
0059–0074 (2015)

PACS numbers: 61.43.Dq, 62.20.de, 62.20.Qp, 68.55.J-, 68.60.-p, 78.30.Ly, 81.15.Gh

Приведены экспериментальные результаты по тонким Sі–C–N-плёнкам, полученным плазмохимическим методом из гексаметилдисилазана. Исследовано влияние мощности ультравысокочастотного газового разряда, количества прибавленного к реактивной смеси азота, смещения на подложкодержателе, температуры подложкодержателя и дополнительного вакуумного отжига на свойства плёнок. Установлено, что к изменению условий осаждения наиболее чувствительными оказались нанотвёрдость (Н) и модуль Юнга (Е) плёнок. Из параметров осаждения наибольшее влияние на величины Н и Е оказывают температура подложкодержателя и смещение на нём. Увеличение количества прибавленного азота, смещения и температуры способствует повышению значений Н и E, что связано с ростом численности Si–C- и Si–N-связей. При увеличении мощности — всё наоборот: Н и E уменьшаются при преобладающем влиянии Si–О-связей. При всех условиях осаждения формируется аморфная структура плёнок, шероховатость поверхности которых сравнима с шероховатостью поверхности кремниевой подложки. Высокотемпературный отжиг в вакууме до 1000?C не влияет заметно на структуру, морфологию поверхности и величины Н и Е плёнок.

©2003—2021 НАНОСИСТЕМЫ, НАНОМАТЕРИАЛЫ, НАНОТЕХНОЛОГИИ Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова Национальной Академии наук Украины.
Электронная почта: tatar@imp.kiev.ua Телефоны и адрес редакции О сборнике Пользовательское соглашение