Выпуски

 / 

2014

 / 

том 12 / 

выпуск 2

 



Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

О. И. Вьюнов, Л. Л. Коваленко, А. Г. Белоус, O. Bohnke, C. Bohnke
«Получение наноразмерных плёнок LiPON высокочастотным магнетронным напылением»
0303–0311 (2014)

PACS numbers: 68.37.Hk, 68.55.J-, 73.40.Mr, 81.15.Cd, 82.45.Gj, 82.45.Yz, 82.47.Aa

Описана конструкция лабораторной установки для получения наноразмерных аморфных плёнок фосфор-оксинитрида лития (LiPON) методом высокочастотного магнетронного напыления. Каждый блок установки был модернизирован, чтобы основные параметры напыления (ВЧ-мощность, температура подложки, время напыления, давление рабочего газа) можно было регулировать в широком диапазоне. Установлена взаимосвязь между режимами напыления и микроструктурой плёнок LiPON. Установлено, что полученные плёнки LiPON характеризуются высокой величиной ионной проводимости при комнатной температуре (3,2?10-6 Ом-1?A<-1) и энергией активации 0,27 эВ. Изготовлен композиционный твёрдый электролит LiPON/LLTO/LiPON, который обладает высокой химической стойкостью при контакте с металлическим литиевым анодом, высокой ионной проводимостью и может быть использован в электрохимических устройствах.

©2003—2021 НАНОСИСТЕМЫ, НАНОМАТЕРИАЛЫ, НАНОТЕХНОЛОГИИ Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова Национальной Академии наук Украины.
Электронная почта: tatar@imp.kiev.ua Телефоны и адрес редакции О сборнике Пользовательское соглашение