Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

С. А. Билоконь, М. А. Бондаренко, Ю. Ю. Бондаренко
«Определение адгезионной прочности тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах методом атомно-силовой микроскопии»
0295–0302 (2014)

PACS numbers: 07.79.Lh, 62.20.Qp, 68.35.Np, 68.37.Ps, 68.47.Gh, 85.35.-p, 85.85.+j

Определена адгезионная прочность тонких оксидных покрытий на диэлектрических материалах (кремнии Кр0, оптическом стекле К8) c применением метода атомно-силовой микроскопии и использованием многопроходного сканирования образца с постепенным внедрением зонда атомно-силового микроскопа в исследуемую поверхность. Подобран режим качественного определения адгезионной прочности тонких покрытий путём подбора шага внедрения зонда в диапазоне глубин 1–10 нм. Установлено, что с увеличением толщины покрытия его адгезионная прочность уменьшается по экспоненциальному закону.