Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

В. В. Васькевич, В. Е. Гайшун, Д. Л. Коваленко
«Синтез и исследование силикатных золь–гель-покрытий для микро- и наноэлектроники»
0279–0293 (2014)

PACS numbers: 68.37.Ps, 68.55.J-, 78.30.-j, 81.15.Gh, 81.20.Fw, 81.65.Ps, 82.70.Gg

В работе рассмотрена возможность создания диэлектрических SiO2-покрытий на основе золь–гель-метода путём гидролиза металлоорганических соединений кремния в водно-спиртовой смеси. Описаны оптимальные параметры нанесения и термообработки для получения однородных покрытий на поверхности монокристаллического кремния. Выполнены исследования механической стойкости к истиранию как основного вида испытания покрытий на прочность и адгезию к поверхности подложки. Методом ИК-спектроскопии изучены фазовые и структурные превращений в процессе формирования золь–гель-плёнок. Методом АСМ установлены зависимости состояния и морфологии поверхности покрытий от состава исходного плёнкообразующего раствора и технологических режимов получения диэлектрических плёнок. Проанализированы электрофизические свойства сформированных МДП-структур в зависимости от состава плёнкообразующего раствора.