Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

С. Ф. Дудник, Р. Л. Василенко, В. Н. Воеводин, В. И. Грицына, К. И. Кошевой, О. А. Опалев, Е. Н. Решетняк, В. Е. Стрельницкий, В. Ф. Горбань
«Получение и свойства проводящих алмазных нанокристаллических покрытий»
0213–0224 (2014)

PACS numbers: 61.05.cf, 62.20.Qp, 62.23.Pq, 68.37.Hk, 73.61.Wp, 81.05.uj, 81.65.Lp

Приведены экспериментальные результаты по получению в плазме тлеющего разряда легированных азотом проводящих наноструктурных алмазных покрытий. Изучено влияние условий синтеза покрытий на их структуру и свойства. Определены зависимости скорости роста покрытий и зависимости величины удельного сопротивления от параметров синтеза в широком диапазоне их изменения. Показано, что изменения электропроводности наноструктурных алмазных плёнок при легировании их азотом связаны, прежде всего, с изменениями электропроводности межзёренных прослоек, а не с изменением размеров зёрен алмазной фазы.