Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

И. Д. Войтович, Т. С. Лебедева, П. Б. Шпилевой, Н. В. Беднов
«Покрытия из нанопористого анодного оксида алюминия для сенсорных применений»
0169–0180 (2014)

PACS numbers: 07.07.Df, 68.37.Hk, 68.55.at, 78.67.Rb, 81.16.Pr, 82.45.Cc, 87.85.fk

Описана разработка технологии тонкоплёночных сенсорных покрытий из пористого анодного оксида алюминия (ПАОА), выращенного на плёнках алюминия на стеклянных подложках, включающей контроль кривых отражения волноводных сенсорных структур на металлическом подслое (ВСМП) ПАОА–Al в процессе анодного окисления и растравливания пор. Приведены результаты моделирования оптических характеристик ВСМП в процессе их изготовления. Представлены также результаты исследований полученных нанопористых покрытий методом СЭМ и данные тестовых иммунохимических исследований на ВСМП ПАОА–Al. Описанная разработка выполнена для развития оптических биосенсоров на ВСМП, но может быть применена для создания нанопористых покрытий из ПАОА для других видов высокочувствительных сенсоров.