Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

В. А. Білоус, О. С. Купрін, М. С. Ломіно, В. Д. Овчаренко,Г. М. Толмачова
«Вплив тиску азоту на механічні властивостіі термічну стабільність покриттів TiAlSiN,одержаних при вакуумно-дуговому осадженні»
0019–0025 (2012)

PACS numbers: 62.20.Qp, 62.23.St, 68.60.Bs, 68.60.Dv, 81.15.Ef, 81.15.Gh, 81.65.Lp

Вакуумно-дуговым методом в условиях фильтрации плазменного потока осаждены покрытия TiAlSiN с твёрдостью от 30 до 45 ГПа в зависимости от давления азота. Исследован элементный состав покрытий с изменением параметров процесса. Показана высокая термостабильность полученных конденсатов до 1000?С.