Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

А. О. Дружинін, С. І. Нічкало, Ю. Р. Когут, А. М. Вуйцик
«Аналіза кінетики росту нановіскерів кремнію»
0933–0940 (2011)

PACS numbers: 61.46.Hk, 68.37.Ps, 68.65.La, 68.70.+w, 81.07.Gf, 81.15.Gh, 85.40.Sz

Представлены результаты экспериментальных исследований по вы-ращиванию нитевидных нанокристаллов (ННК) кремния методом хи-мического парового осаждения (CVD) в закрытой бромидной си-стеме и открытой проточной системе. В результате получены ННК кремния со средним диаметром ??100 нм. Показано, что поперечный размер ННК прямо пропорционально зависит от толщины предвари-тельно напылённой плёнки золота.