Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

А. А. Дружинин, И. П. Островский, Ю. Н. Ховерко, С. И. Ничкало
«Получение кремниевых нитевидных нанокристаллов»
0925–0932 (2011)

PACS numbers: 61.46.Hk, 68.37.Ps, 68.65.La, 68.70.+w, 81.07.Gf, 81.15.Gh, 85.40.Sz

Представлены результаты серии экспериментальных исследований по выращиванию нитевидных нанокристаллов (ННК) кремния мето-дом химического парового осаждения в открытой проточной си-стеме по механизму «пар–жидкость–кристалл» (ПЖК). В результа-те выполненных ростовых экспериментов получены ННК кремния со средним диаметром ??100 нм. На основе метода кинетического экс-перимента выполнено моделирование аксиального и радиального роста ННК. Кроме того, были определены следующие кинетические параметры роста: эффективное перенасыщение в газовой фазе, кинетический коэффициент кристаллизации и критический диа-метр. Показано, что кристаллы диаметром 50–70 нм растут по ме-ханизму ПЖК, в то время как кристаллы больших диаметров растут согласно двум механизмам — ПЖК и ПК, что обусловливает форми-рование более выраженных гетероструктур с кристаллическим яд-ром и внешней пористой оболочкой.