Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

А. В. Смородин, В. А. Николаенко
«Анализ наношероховатостей подложек с использованием левитирующих электронов над сверхтекучей плёнкой гелия»
0849–0854 (2011)

PACS numbers: 67.25.-k, 67.30.-n, 67.80.-s, 68.35.Ct, 73.25.+i, 73.90.+f, 85.30.De

Описано устройство для исследования наношероховатостей подло-жек путём анализа проводимости левитирующих электронов над плёнкой жидкого гелия в зависимости от её толщины. Устройство представляет собой камеру для сверхтекучего гелия и измерительную ячейку с подложкой, горизонтально расположенной над измерительными электродами, которые в вертикальном направлении перемещаются с помощью электромеханической тяги. По характеристикам переноса электронов имеется возможность идентифицировать наношероховатости размером от единиц ангстремов при ненасыщенной гелиевой плёнке до 102 нм при насыщенной плёнке гелия.