Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

А. Н. Кириченко*, В. Н. Денисов*,**, В. Д. Бланк*,**, Б. Н. Маврин*, Е. А. Виноградов**, К. В. Гоголинский*, А. С. Усейнов*, Вели-Матти Тиайнен***, Антти Соининен***, Юрё Конттинен****
«Исследование алмазоподобных углеродных плёнок методами комбинационного рассеяния света и наноиндентирования.»
0307–0311 (2011)

PACS numbers: 07.35.+k, 62.20.Qp, 68.60.Bs, 78.30.-j, 81.05.uj, 81.40.Tv, 81.70.Bt

Методами комбинационного рассеяния света (КРС) и наноинденти-рования изучены алмазоподобные углеродные плёнки (DLC) и гиб-ридные плёнки алмазоподобного углерода с органическим полиме-ром (DLC–p-h). По данным КРС алмазоподобные углеродные плёнки представляют собой тетраэдрический аморфный углерод (ta-C), а гибридное покрытие можно отнести к гидрированному тетраэдрическому аморфному углероду (ta-C:H). В соответствии с данными, полученными при возбуждении светом с длиной волны 257 нм (УФ–КРС), доля sp3-связей в алмазоподобных углеродных плёнках составляла от 40 до 50% в зависимости от образца. В гибридной плёнке доля sp3-связей составила ??20%. Эти данные хорошо согласуются с измеренной твёрдостью и модулем Юнга.