Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

В. Брык, Р. Василенко, В. Н. Воеводин, А. Гончаров, Т. Григорова, А. Гугля, В. Колобродов, М. Литвиненко, И. Марченко, Е. Мельникова, И. Сасса, Ю. Никитенко*, Ю. Хайдуков*, В. Волков**, G. Chaboussant***
«Микропористые нанокристаллические тонкие плёнки V–N–He. Способ получения, структура, свойства.»
0175–0188 (2011)

PACS numbers: 61.43.Gt, 61.80.Jh, 68.37.Hk, 68.43.Mn, 68.55.Ln, 81.15.Jj, 82.80.Yc

В данной работе изучены основные закономерности формирования тонких плёнок V–N–He, осаждаемых в условиях бомбардировки смешанными пучками высокоэнергетичных ионов азота и гелия. Были исследованы их структурно-фазовые, электрофизические и адсорбционные характеристики. Данные электронно-микроскопического анализа доказывают, что формирование струк-туры плёнок V–N–He происходит в условиях конкуренции несколь-ких проходящих одновременно процессов, которые приводят к формированию нанокристаллической структуры, содержащей мик-ропоры размером от 5 нм до 5 мкм. Обсуждается роль ионной бом-бардировки и адсорбции газа из остаточной атмосферы в формиро-вании пористости. Сопоставление данных резерфордовского об-ратного рассеяния (РОР) и профилометрии позволило определить величину пористости плёнок — 27%. В диапазоне исследованных давлений водорода (до 0,35 МПа) было адсорбировано 7 вес.% H2. Показано, что количество адсорбированного водорода определя-ется микропористой структурой плёнок и составом газовой среды в них.