Скачать полную версию статьи (в PDF формате)
Я. А. Сычикова, В. В. Кидалов, Г. А. Сукач
«Влияние кристаллографической ориентации на формирование пористой поверхности фосфида индия
»
0091–0099 (2010)
PACS numbers: 81.05.Ea, 81.07.Bc, 81.10.Aj, 81.16.Rf, 81.65.Cf, 82.45.Vp, 84.60.Jt
В данной работе исследовалось влияние кристаллографической ориентации исходной подложки фосфида индия на формирование пористой поверхности. Предложен эффективный механизм порообразования, объясняющий зависимость формы пор от ориентации исходной подложки. В случае кристаллографической ориентации подложки (100) фосфида индия поры имеют форму, близкую к квадратной. Для образцов InP, полученных на подложках с кристаллографической ориентацией (111), система пор имеет сложный характер: поры неравномерно разбросаны по поверхности и имеют треугольную форму.
|