Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

L. A. IVASHCHENKO, V. I. IVASHCHENKO, O. K. PORADA, M. V. KARPETS’, O. O. BUTENKO, and I. M. ZAKIEV
«Comparative Studies of Plasmochemical Films of SіCN, Produced from Different Precursors»
0867–0875 (2009)

PACS numbers: 07.35.+k, 62.20.Qp, 68.35.Ct, 68.35.Np, 81.15.Gh, 81.40.Pq, 81.70.Pg

Проведены исследования влияния природы прекурсора на основные физические и трибологические характеристики пленок SiCN, полученных методом газофазового осаждения, активированного высокочастотной плазмой (PECVD). Для сравнения выбраны такие жидкие исходные материалы, как метилтрихлорсилан (МТХС) и гексаметилдисилан (ГМДС). Изучено влияние природы прекурсора на фазовый состав и характер межатомного взаимодействия, а также проанализированы износоустойчивость, коэффициент трения при царапании бриллиантовой пирамидкой пленок SіCN, адгезия и шершавость поверхности пленок. Установлено, что структура пленок (наноструктура МТХС-пленок и аморфность ГМДС-пленок) существенно влияет на износоустойчивость покрытий SiCN. Аморфные ГМДС-пленки имеют в 2 раза низшую износоустойчивость, чем нанокристаллические МТХС-пленки. Исследование колебаний связей в ГМДС- и МТХС-пленках на основе анализа инфракрасных спектров (FTIR) показало корреляцию между усилением связей Sі–C в пленках и трибологическими характеристиками. Предполагается, что наличие хлора в МТХС-пленках влияет на снижение шершавости поверхности и понижение коэффициента трения.