Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

S. L. KHRIPKO
«Structural, Electrical and Optical Properties of ZnO:Al Thin Films»
0833–0841 (2009)

PACS numbers: 68.55.Ln, 68.55.Nq, 73.61.Ga, 78.20.Ci, 78.66.Hf, 81.15.Rs, 81.40.Rs

Изучались структурные, электрические и оптические свойства пленок ZnO:Al, изготовленных методом пульверизации. Приведены результаты влияния температуры осаждения пленок на их поверхностное сопротивление. Установлено, что пленки, легированные алюминием, преимущественно имеют структуру с ориентацией (002), а также снижение уровня кристалличности пленок с увеличением концентрации алюминия от 1,5 ат.% до 4,5 ат.%. Диаметр зерен составил около 21–28 нм. Ширина запрещенной зоны по данным расчетов составляет 3,28–3,34 эВ. Оптическое пропускание пленок достаточно высокое и составляет 90–96% в видимом и инфракрасном участках.