Выпуски

 / 

2009

 / 

том 7 / 

выпуск 1

 



Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

А. В. Борисов, А. Н. Шмырева, Н. В. Максимчук
«Нанокристаллические пленки оксида церия для биолюминесцентных сенсорных систем »
0245–0254 (2009)

PACS numbers: 68.37.Ps, 73.50.Pz, 81.05.Je, 81.07.Bc, 81.15.Ef, 85.60.Gz, 87.80.-y

Изучены свойства нанокристаллических пленок оксида церия, установлены основные закономерности их формирования в зависимости от технологических режимов вакуумного нанесения методом взрывного испарения и типа подложки с целью создания высокочувствительных фотоприемников. Морфология поверхности пленок СеОх исследовалась методом атомно-силовой микроскопии, а электронная структура пленок — методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. На фотоэлектронном спектре наблюдаются максимумы трёх- и четырёхвалентного Се. Показано, что наибольшей фоточувствительностью в спектральном диапазоне 380–450 нм обладают нанокристаллические пленки со структурой Si/SiO2/CeOx, осажденные при температуре 200?С, и пленки со структурой Si/Si3N4/CeOx c температурами осаждения 200?С и 300?С. Минимальным ТКС в области рабочих температур обладают пленки, нанесенные на подложку из SiO2 при температуре 200?С, — 0,36%/град.

©2003—2021 НАНОСИСТЕМЫ, НАНОМАТЕРИАЛЫ, НАНОТЕХНОЛОГИИ Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова Национальной Академии наук Украины.
Электронная почта: tatar@imp.kiev.ua Телефоны и адрес редакции О сборнике Пользовательское соглашение