Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

S. P. NOVOSYADLYI and V. M. BEREZHANS’KY
«Phenomenological Approach to Analysis of Radiation Effects at Designing of Submicron Structures of Bipolar ІС»
0073–0120 (2009)

PACS numbers: 61.72.U-, 61.80.Jh, 73.40.Qv, 85.30.Pq, 85.40.Qx, 85.40.Ry, 85.40.Sz

При взаимодействии корпускулярного и электромагнитного излучения с твердым телом (структурой ИС) происходит передача энергии последнему, в результате чего изменяются его свойства. Характер взаимодействия и эффекты, которые при этом проявляются, в общем случае определяются видом излучения, его энергией и интенсивностью, видом структур ИС, которые при этом облучаются. Данные радиационные исследования могут лечь в основу построения радиационно-стойкой технологии для формирования как биполярных, так и полевых структур ИС. Детально проанализированы радиационные эффекты в структурах с субмикронными глубинами залегания p–n-переходов, а также с изопланарной диэлектрической изоляцией.