Выпуски

 / 

2008

 / 

том 6 / 

выпуск 3

 



Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

А. В. Костановский, Л. А. Жиляков, А. А. Пронкин, А. В. Кириллин
«Получение тонких алмазных пленок при магнетронном распылении графитовой мишени »
0911–0917 (2008)

PACS numbers: 61.46.Bc, 61.48.De, 61.80.Ba, 73.61.Wp, 78.30.Na, 81.05.Uw, 81.15.Cd

В работе представлена методика получения алмазоподобных пленок (АПП) методом магнетронного распыления графитовой мишени. С целью активации процесса образования АПП использовали излучение нагретой нити из тугоплавкого металла, расположенной около подложки. Представлены результаты по оптимизации параметров процесса нанесения тонких пленок. Метод рамановской спектроскопии показал, что спектр идентифицирует пленки как АПП. Толщина пленок — 2000 ?, скорость осаждения — 200 ?/мин. Пленки являются оптически прозрачными, а их электропроводность соответствует полупроводникам.

©2003—2021 НАНОСИСТЕМЫ, НАНОМАТЕРИАЛЫ, НАНОТЕХНОЛОГИИ Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова Национальной Академии наук Украины.
Электронная почта: tatar@imp.kiev.ua Телефоны и адрес редакции О сборнике Пользовательское соглашение