Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

O. S. LYTVYN, P. M. LYTVYN, I. V. PROKOPENKO, and T. I. SHEREMETA
«Peculiarities of Nanostructures Topometry Studied by Atomic Force Microscopy Methods»
0033–0044 (2008)

PACS numbers: 07.79.Lh, 61.46.-w, 68.37.Ps, 68.65.-k, 81.07.-b, 81.16.Ta, 82.37.Gk

В работе на примере реальных наноструктурированных поверхностей проанализированы особенности применения методов минимизации «эффекта зонда» в топометрических исследованиях методом сканирующей атомносиловой микроскопии (АСМ). Представлены практические параметры оценки эффективности компьютерной реконструкции изображений поверхности и ее оптимизации. Показано, что комплексное применение разных способов минимизации искажений геометрических размеров наноструктурных элементов поверхностей, которые возникают вследствие конечных размеров острия зонда, обеспечивает получение адекватных топометрических данных.