Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

В. В. Лизунов, Е. В. Кочелаб, Е. С. Скакунова, Е. Г. Лень,В. Б. Молодкин, С. И. Олиховский, Н. Г. Толмачёв,Б. В. Шелудченко, С. В. Лизунова, Л. Н. Скапа
«Дисперсионная чувствительность картины рассеянияк дефектам в зависимости от толщины кристаллическихизделий нанотехнологий. I. Теоретическая модель»
099–115 (2015)

PACS numbers: 07.85.Jy, 61.05.cc, 61.05.cf, 61.05.cp, 61.46.Hk, 61.72.Dd, 81.07.Bc

The generalized model of dispersion-sensitive diffractometry of imperfect crystals is developed. It allows analysing the differential and integral scattering patterns for any effective thicknesses of the crystal. Parameter characterizing the effect of the abnormal increase of the relative contribution of diffuse scattering is introduced. The proposed theoretical model can provide a solution to the multiparametric inverse problem of recovering the characteristics of complex defect structures within the single crystals used in current nanotechnologies.