Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

В. А. Білоус, О. С. Купрін, М. С. Ломіно, В. Д. Овчаренко,Г. М. Толмачова
«Вплив тиску азоту на механічні властивостіі термічну стабільність покриттів TiAlSiN,одержаних при вакуумно-дуговому осадженні»
019–025 (2012)

PACS numbers: 62.20.Qp, 62.23.St, 68.60.Bs, 68.60.Dv, 81.15.Ef, 81.15.Gh, 81.65.Lp

Coatings of TiAlSiN with hardness from 30 to 45 GPa are depos-ited by a vacuum-arc method under conditions of filtration of plasma flow at different pressures of nitrogen. Element compo-sition of coatings is investigated depending on the change of process parameters. High thermal stability of fabricated con-densates up to 1000?С is shown.