Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

М. Ю. Бобик, Є. І. Боркач, В. П. Іваницький, В. І. Сабов
«Теорія формування контрасту електронно-мікроскопічних зображень аморфних речовин складного хемічного складу»
0423–0436 (2012)

PACS numbers: 07.78.+s, 07.79.-v, 61.05.J-, 61.43.Er, 68.37.Lp, 87.64.Bx, 87.64.Ee

Розроблено теорію формування електронно-мікроскопічних зображень аморфних матеріялів і наносистем складного хемічного складу з урахуванням як амплітудного, так і дифракційного внеску в контраст. Показано, що за формування контрасту електронно-мікроскопічних зображень таких об’єктів відповідають три складові розсіяння електронів у межах апертурної діяфраґми об’єктивної лінзи: пружнє некогерентне, пружнє когерентне та непружній фон. Варіяції інтенсивности електронно-мікроскопічних зображень за рахунок пружнього некогерентного розсіяння визначаються розподілом атомової густини, змінами хемічного складу та відхилами геометричної товщини локальних ділянок досліджуваного зразка. Внесок пружнього когерентного розсіяння в контраст зображень зумовлюється відмінностями структурних факторів різних локальних ділянок, а внесок непружнього фону — відмінностями інтенсивности такого фону.