Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

С. Л. Хрипко
«Структурні, електричні та оптичні властивості тонких плівок ZnO:Al »
0833–0841 (2009)

PACS numbers: 68.55.Ln, 68.55.Nq, 73.61.Ga, 78.20.Ci, 78.66.Hf, 81.15.Rs, 81.40.Rs

Вивчалися структурні, електричні та оптичні властивості плівок ZnO:Al, виготовлених методою пульверизації. Наведено результати впливу температури осадження плівок на поверхневий опір плівок. Встановлено, що плівки, леґовані алюмінієм, мають переважно структуру з орієнтацією (002), а також зниження рівня кристалічности плівок із збільшенням концентрації алюмінію від 1,5 ат.% до 4,5 ат.%. Діяметер зерен становить близько 21–28 нм. Ширина забороненої зони за даними розрахунків складає 3,28–3,34 еВ. Оптичне пропускання плівок досить високе; у видимій та інфрачервоній ділянках воно складає 90–96%.