|
||||||||||||||||||||||||
Скачать полную версию статьи (в PDF формате)
А. Ю. Ляшенко, А. М. Гусак*, Ю. А. Ляшенко*, Ф. Одаж** Модифицирована модель роста нанопроволок кремния при напыле-нии методом VLS (vapour–liquid–solid) с учётом задержки на нуклеацию каждого нового атомного слоя кремния под нанокаплей золота и обеднение нанокапли на кремний в результате каждого нового заращивания атомной плоскости. Для описания ступенча-того роста силицида была развита модификация классической теории гомогенного зародышеобразования в случае нестационар-ных условий. Модифицированная теория позволяет предсказывать частоту и установить статистические особенности повторяемых актов нуклеации. |
||||||||||||||||||||||||
|