Скачать полную версию статьи (в PDF формате)

M. Yu. BARABASH
«Nanostructure Templates Based on Polymer Semiconductors »
0403–0410 (2009)

PACS numbers: 42.40.Ht, 42.70.Jk, 42.70.Ln, 42.70.Nq, 68.35.B-, 68.55.-a, 81.16.Nd

Применение темплатов является одним из наиболее действенных способов получения современных функциональных нано- и микроструктурированных материалов. В работе показана возможность использования электрографического процесса для создания планарных темплатов с искусственным поверхностным рельефом. Использование полимерных полупроводников (ППП) в таком процессе позволяет обеспечить циклическое создание геометрического рельефа с модулированным электростатическим зарядом на поверхности темплата в реальном времени. Это позволяет оптимизировать параметры создания темплатов с различной структурой. Изучены свойства нового вида оптической памяти полимерных полупроводников (ППП) на основе полиэпоксипропилкарбазола. На основе такого эффекта получены темплаты с различной рельефной и полевой топологией. Исследования релаксации поверхностного потенциала и развития геометрического рельефа на свободной поверхности ППП показали, что в ППП при температурах несколько ниже температуры образования геометрического рельефа образуется термостимулированный гетерозаряд (ТСГЗ), величина которого пропорциональна начальному заряду. Релаксация поверхностного потенциала зависит от величины и знака созданного в объеме ППП электрического заряда и имеет три характерных участка. Найдено значение оптимальной температуры и времени образования ТСГЗ. При создании полимерного темплата с использованием ТСГЗ было установлено, что полоса передаваемых частот совпадает с полосой обычного способа регистрации оптических голограмм, паразитные полосы отсутствуют. Наличие ТСГЗ в объеме темплата способствует локальному осаждению металла на его поверхность. Практическая реализация данного эффекта позволяет получать темплаты сложной топологии с помощью методов голографической литографии в реальном масштабе времени.